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產(chǎn)品中心 Product Center

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? ? SCARA 機器人出貨量全球第四

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? ? 138 2884 5315?

HR系列負載2-5kg

HR高速機系列

輕巧靈活，高精高速，高效靜音

臂展: 400mm??精度:±0.01mm 循環(huán): 0.31s

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SD系列桌面機器人

靈活輕巧，高效工作，超高精度

臂展: 500/723/912mm 精度: 0.02mm? 負載: 3-7kg

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TA系列晶圓機器人

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進口品牌

臂長：200/260/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能? 支持晶圓有無檢測

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TBA系列晶圓機器人

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進口品牌

臂長：200/260/370/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能? 支持晶圓有無檢測

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JC系列晶圓校準(zhǔn)器

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進口品牌

兼容8/12寸晶圓校準(zhǔn)? 圓心校準(zhǔn)精度：±0.1mm? 缺口校準(zhǔn)精度：±0.1°

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